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鐳射干涉儀調光步驟及技巧如下

調整半導體準直光源，使小孔光束在透過導軌中心線的垂面並與導軌表面平行。

調節全反射腔鏡的四維調整架，使小孔光束透過其中心，並讓反射光束沿原路返回小孔。裝好聚光腔體，調節其支架，使小孔光束透過鐳射棒兩端面的中心，並讓其前端面的反射光點返回小孔。調節輸出境和反射鏡。調節偏振片和調Q晶體。垂直光路的調節 （1）在機器工作臺上放一塊10mm的亞克力，然後切一個大小為20x15mm的長方塊出來，再觀察切割出來的垂直度（或者直接點射打孔觀察垂直度） （2）如果打出的光向左右偏則需要調節鐳射管的高低，如果打出的光前後偏則需要調節鐳射管的底座的前後。如果光的偏置不是很明顯只需輕微調動，直到調節到前後左右都垂直即可。